FTIR

FTIR（傅里叶变换红外光谱仪）是一种红外光谱仪测量方法。
首先，用红外光照射样品（固体、液体或气体），然后使用干涉仪干涉透射光或反射光，并通过傅里叶变换信号强度来获取光谱信息。然后根据光谱信息对物质的定性、定量和鉴定特点进行分析。
此方法以 FTIR 分析仪或傅里叶变换红外分光光度计的形式用于各种领域，包括化学分析、医疗、环境分析和材料分析。

用于 FTIR 的滨松产品

滨松提供适合用于 FT-NIR 和 FT-IR 的光谱模块和红外探测器。

用于 FT-NIR

FTIR 引擎

FTIR 引擎是一个傅里叶变换光谱模块，将光干涉仪和控制电路集成在紧凑的外壳中。它在波长 1.1 至 2.5 μm 的近红外区域具有高灵敏度。它适合用手掌握住，而且可以集成到 FTIR 分析仪中。这有助于实现固定式 FTIR 分析仪的小型化和便携性，而这正是保持至今的主流趋势。

FTIR 引擎的特点

检测性能与固定式 FTIR 设备相当

为了消除由小型化引起的入射光量的降低，我们使用滨松的原创 MEMS 技术开发了一种可动反射镜。该反射镜在光干涉仪内构成执行器，然后借此进行改进，以便高效利用反射光。此外，我们将可动反射镜和固定反射镜集成为 MEMS 芯片，从而使其结构紧凑，并将反射镜之间的相对角度误差减小至约 1/100。通过优化 MEMS 执行器的结构和驱动方法，消除运行期间的模糊问题，我们抑制了光干涉仪内部的红外光扩散，并减少了损耗。如此一来，我们实现了堪比传统固定式设备的检测性能。

实现高波长再现性

当被测量的光（入射光）被分束器分割，被可动反射镜和固定反射镜反射，然后再次结合时，就会发生光干涉。根据可动反射镜的位置变化的干涉光强度由光电检测器（InGaAs PIN 光电二极管）检测，然后对信号进行算术处理（傅里叶变换）以获得光谱。通过使用光电检测器（硅 PIN 光电二极管）和半导体激光器 (VCSEL) 测量干涉仪内部可动反射镜的位置，可以获得具有高波长再现性的光谱。

FTIR 引擎测量示例

反射测量（糖的吸光度比较）

比较来自 FTIR 引擎和来自固定光谱仪的糖粉样品（葡萄糖、蔗糖）的反射测量结果，我们发现甚至可以使用 FTIR 引擎准确测量微小的峰型，和使用固定光谱仪获得的光谱相似。

透射测量（酒精饮料吸光度与酒精浓度估计的比较）

在波长 1.1 至 2.5 μm 的近红外区域，有羟基在水中（1.45 μm 波段、1.9 μm 波段）吸光和烷基在酒精饮料中（2.1 至 2.5 μm）吸光。通过透射测量结果，我们能够获得水和酒精饮料吸收波段的特性谱。此外，根据 2.3 μm 波段吸光度估算的酒精浓度结果，我们确认了饮料中所含成分的估算值和数值相匹配，并且可以进行高精度测量。