用途 |激光驱动光源 (LDLS)

UV - 可见光 - 近红外光谱测量

光学产品评价
(例如:滤波器、透镜)

材料评估
(例如:珠宝、塑料)

应用领域:半导体检查

在半导体检查中,需要更高强度的紫外光源来进一步缩短检查时间,并提高检查晶圆上形成的图案和薄膜的过程的准确性。对波长更短的紫外线光源也有较大需求,以适应未来半导体器件制造的工艺缩减。LDLS 是满足这些需求的最佳光源,因为它在广泛的光谱范围内提供出色的亮度,并具有较长的使用寿命。

除了 LDLS,滨松光子学和 Energetiq 还提供全系列高性能光源,包括极紫外线 (EUV) 光源和氙灯,以应对半导体检查设备市场不断变化的需求。

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