常见问题 | 真空静电消除器:静电电荷消除器

真空静电消除器是使用“光离子化”来应用真空紫外光去除静电的静电电荷去除器。这种创新的离子化方法利用真空紫外光的独特功能来消除真空(减压状态)中不需要的静电电荷,这是此前一直无法实现的。

真空静电消除器是否在通电后立即发出真空紫外光?

不会,这是因为真空静电消除器中集成的氘灯使用热阴极,在通电后需要大约 20 秒的预热时间(灯丝预热时间)。在此预热期间,不会发出真空紫外光。

真空紫外光对目标物体是否有任何影响?

真空紫外光能量高,可能会损坏长时间暴露于真空紫外光的目标物体。
损坏程度取决于物体的类型,因此我们建议按照与实际使用时相同的照射条件确认目标物体没有损坏。如果您向我们寄送目标物体样品,我们将确认真空紫外光照射对目标物体的影响。请就此随时咨询我们。
如果您不想直接用真空紫外光照射目标物体,我们建议通过间接照射去除静电电荷。然而,在这种情况下,静电电荷去除效果将低于直接照射,因此请就此咨询我们。

哪些残余原子和分子会促成真空紫外光的光离子化?

真空室中的残余原子和分子来源于大气组分,也就是空气中的组分。

可在哪个区域最有效地去除静电电荷?

通过真空紫外光的照射产生电子和离子,因此在整个由真空紫外光照射的区域,将会最有效地去除静电电荷。如果需要更高的静电电荷去除效果,我们建议将真空紫外光直接照射到目标物体上。

特性如何随照射距离而变化?

真空静电消除器中包含的氘灯发出的真空紫外光以从发光点开始的光分布角扩散。这意味着照射距离越长,照射区域越广。然而,随着与目标物体距离的增加,光输出会衰减或减弱,这会导致产生的离子量减少,从而降低静电电荷去除效果。

是什么原因导致了正负电荷在静电电荷去除效果上的差异?

电子和阴离子可中和正电荷,而阳离子则有助于中和负电荷。这一过程以及离子和电子的移动速度可能导致不同的静电电荷去除效果。

在大气环境中是否有可能获得静电电荷去除效果?

不可能,在大气环境中,也就是在空气中无法去除静电电荷。
由于从真空静电消除器发射的真空紫外光被氧气吸收,因此只能在真空中或在氧气被氮气等惰性气体充分替换的环境中获得静电电荷去除效果。
如果在大气环境中需要去除静电电荷,请使用我们的光离子化发生器。

 

静电电荷去除效果是否因真空度而异?

随着真空度的增加,残余原子和分子的数量减少,静电电荷去除效果也略微减弱。然而,我们已经验证,在真空度达到约 10-6 Pa 之前,静电电荷去除效果没有显著降低。

 

在气体环境中使用真空静电消除器时,是否有任何气体可能导致不利影响?

真空静电消除器中氘灯的窗材使用 MgF2 晶体,不会受到以下气体的不利影响。
• 稀有气体
• 大气中的气体
• 卤素类气体(HCL、HF)
• 氟类气体(CF4、CCl2F2 等)
在其他环境中使用真空静电消除器时,请咨询我们。

能否以短时间间隔执行开/关照射控制?

几秒钟到几分钟不等的间歇性照明会缩短光源的使用寿命。如需以几秒至几分钟内的时间间隔执行开/关照射控制,我们建议使用快门中断真空紫外光。
对于 L12542,保证使用寿命为 2000 小时,连续照明过程中的预期使用寿命为 6000 小时或以上。但是,如果以几秒到几分钟的时间间隔间歇运行,则实际使用寿命在某些情况下可能会比保证使用寿命短。

应该如何维护光源单元?

清洁真空静电消除器氘灯的窗口时,用蘸有丙酮等挥发性溶剂的软布擦拭窗口表面,然后用干布擦拭,使窗口表面没有残留挥发性溶剂。如果窗口表面附着了污垢或污染物,则可能会在亮灯时导致光源老化(局部不透明),从而导致静电电荷去除不良(由于窗口透射率过早丧失,光输出衰减或减弱)。

如何决定何时更换光源单元?

我们建议在保证使用寿命到期之前或经过特定操作时间后更换光源单元。操作时间可根据电源单元外部控制端子的光源状态信号计算。
基本上,只要光源仍然亮起,静电电荷去除效果就会持续。如果不确定合适的光源更换时间,请咨询我们。

能否在仍安装真空静电消除器的情况下烘烤真空室?

对于设计为安装在真空室外的 L12542 和 L15094,除非真空室表面(真空法兰安装)的温度超过 140°C,否则可以烘烤真空室。但在烘烤过程中不要发出真空紫外光(不要打开光源)。
如果真空室表面温度高于 140°C,或者您想在烘烤过程中发出真空紫外光,请咨询我们。
当使用主机设计为安装在真空室内的 L10706 时,请勿在高于 L10706 指定储存温度的温度下烘烤真空室。

你们能否定制真空静电消除器?

可以,我们会根据您的用途和使用条件定制真空静电消除器和真空法兰,因此请随时咨询我们。
除了设计和制造真空法兰外,我们还为解决设计问题提供技术支持。

是否可以进行预评估?

我们提供模拟服务,还有可供租赁的试用单元。请随时就此联系我们。

安装和使用真空静电消除器时,是否需要遵守任何法律法规?

目前没有需要遵守的具体的法律或法规。
但是,如果您担心紫外光对人体的影响,请在参考以下几点后采取必要的措施。
• 操作真空静电消除器时,请务必穿戴防护装备。
• 粘贴彩色胶片或类似物品来屏蔽观察口。
即使只是暂时在空气中操作真空静电消除器也会产生臭氧,因此请务必给房间通风。

请联系我们获取更多信息。

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