相关产品 | 真空静电消除器:静电电荷消除器

真空静电消除器是使用“光离子化”来应用真空紫外光去除静电的静电电荷去除器。这种创新的离子化方法利用真空紫外光的独特功能来消除真空(减压状态)中不需要的静电电荷,这是此前一直无法实现的。

真空法兰

我们提供专为真空静电消除器设计的 E3444 系列真空法兰。

详细参数

参数 E3444
(通用规格)
E3444-01
(JIS VF50)
E3444-02
(ICF114)
单位
法兰 - (*1) JIS VG50 ICF114
密封方法 O 型圈 铜垫圈
泄漏量 1 x 10-10 Pa m3/s (*2)

*1:准备符合 E3444 轮廓的法兰。

*2:使用氦气泄漏探测器测量的结果。

外形尺寸图(单位:mm)

E3444

E3444-01

E3444-02

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