MEMS 振镜

S12237-03P

超小型、高性能
电磁驱动激光扫描 MEMS 振镜

S12237-03P 是一款电磁驱动的振镜,采用了我们独特的 MEMS(微机电系统)技术。通过将磁体安装在振镜下方,我们实现了超小型尺寸。在由磁体产生的磁场内,围绕振镜的线圈中流动的电流基于弗莱明定律产生驱动振镜的洛仑兹力。滨松 MEMS 振镜具有较宽的光偏转角和较高的镜面反射率,且具有低功耗。


特点
- 低电流操作
- 超小型尺寸
- 宽光偏转角

类型 单轴线性扫描
操作模式 线性模式
振镜尺寸 φ2.6 mm
振镜材料 铝合金
光偏转角 ±15 °
驱动频率(最大) 100 Hz

外形尺寸图(单位:mm)

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