Optical NanoGauge 膜厚测量系统

C10178-03E

Optical NanoGauge 膜厚测量系统 C10178 是一种利用光谱干涉法的非接触式膜厚测量系统。通过光谱干涉法以高灵敏度和高精度快速测量薄膜厚度。我们的产品使用多通道光谱仪 PMA 作为探测器,可以测量量子产率、反射、透射/吸收和各种其他点,同时测量各种滤光片和涂层膜的厚度等。

特点

  • 高速和高精度(测量薄膜厚度范围(玻璃):150 nm~50 μm)
  • 实时测量
  • 精确测量起伏不定的薄膜
  • 分析光学常数(n、k)
  • 提供外部控制
  • 量子产率、反射率、透射率和吸收率可通过具体的附件测量

详细参数

型号 C10178-03E
测量型号(特点) 支持 NIR
可测量的薄膜厚度范围(玻璃) 150 nm 至 50 μm*1
测量重现性(玻璃) 0.05 nm*2 *3
测量精度(玻璃) ±0.4%*3 *4
光源 卤素光源
测量波长 900 nm 至 1650 nm
光斑尺寸 约 φ1 mm*3
工作距离 10 mm*3
可测量层数 最多 10 层
分析 FFT 分析、拟合分析、光学常数分析
测量时间 19 ms/point*5
光纤连接器形状 φ12 套管形
外部控制功能 RS-232C、PIPE、以太网
电源 AC200 V 至 AC240 V,50 Hz/60 Hz
功耗 约 230 VA
*1:当以玻璃折射率 1.5 进行转换时。
*2:测量 400 nm 厚玻璃膜时的标准偏差(容差)。
*3:取决于使用的光学系统或物镜放大率。
*4:VLSI 标准测量保证文件中记录的测量保证范围。
*5:最短曝光时间。

尺寸

c10178-03 外形尺寸图

 

 

a10193-02 外形尺寸图

a10192-01 外形尺寸图

 

 

l6758-11 外形尺寸图

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