Optical NanoGauge 膜厚测量系统

C10323-02E

Optical NanoGauge 膜厚测量系统 C10323 是一种显微膜厚测量系统。如果物体具有会产生高水平散射光的不规则表面,则无法在宏观层面上进行测量。对于这些类型的对象,测量小面积会减少散射光,从而可以进行测量。

C10323-02E 的电源电压为 AC200 V 至 AC240 V。

特点

  • 微视野厚度测量
  • 高速度和高精度
  • 分析光学常数(n、k)
  • 提供外部控制

详细参数

型号 C10323-02E
可测量的薄膜厚度范围(玻璃) 20 nm 至 50 μm
测量重现性(玻璃) 0.02 nm
测量精度(玻璃) ±0.4%
光源 卤素光源
测量波长 400 nm 至 1100 nm
光斑尺寸 φ8 μm 至 φ80 μm
工作距离 请参阅物镜列表
可测量层数 最多 10 层
分析 FFT 分析、拟合分析、光学常数分析
外部控制功能 RS-232C、PIPE、以太网
接口 USB 2.0
电源 AC200 V 至 AC240 V,50 Hz/60 Hz
功耗 约 250 VA
①当以玻璃折射率 1.5 进行转换时。
② 测量 400 nm 厚玻璃膜时的标准偏差(容差)。
③ 取决于使用的光学系统或物镜放大率。
④ VLSI 标准测量保证文件中记录的测量保证范围。

尺寸

c10323 外形尺寸图

 

 

a10406-02 外形尺寸图

a10407-01 外形尺寸图

 

 

a10407-02 外形尺寸图

l6758-11 外形尺寸图

 

请联系我们获取更多信息。

  • 资料索取
  • 价格咨询
  • 产品货期
  • 产品定制
  • 演示
  • 技术支持
  • 其他

联系我们