iPHEMOS-DD 倒置光发射显微镜

C10506-05-16

倒置光发射显微镜是一种背面分析系统,旨在通过检测半导体器件缺陷发射的光和热来识别故障位置。
从背面检测信号便于在晶圆表面使用探测卡和探针卡,样品设置可以顺利进行。该平台可以安装多个探测器和激光器,能够选择最佳探测器,以执行各种分析方法,例如光发射和热生成分析、IR-OBIRCH 分析等;此外,通过测试仪连接,使动态分析能够高效执行。

●iPHEMOS-DD
通过直接连接到 LSI 测试仪,可以减少由于连接电缆长度造成的信号延迟,并且可以对高速驱动样本进行分析。直接对接专用探针器可将多针指针连接到 300 mm 晶圆上,并且通过附加选件,可通过操作器执行封装分析和针指针连接。

LSI 测试仪连接示例

特点

  • 可安装两个超高灵敏度相机,用于微光分析和热分析
  • 可安装多达 3 种波长的激光器和 EOP 探针光源
  • 能够安装多个探测器的多平台
  • 高灵敏度微距镜头和多达 10 个镜头,适用于每个探测器灵敏度波长

选项

  • 包括激光扫描系统
  • 使用高灵敏度近红外相机进行微光发射分析
  • 使用高灵敏度中红外相机进行热分析
  • IR-OBIRCH 分析
  • 通过激光辐照进行动态分析
  • EO 探测分析
  • 使用 NanoLens 进行高分辨率和高灵敏度分析
  • 连接到 CAD 导航
  • 连接到 LSI 测试仪

显示功能

叠加显示/对比度增强功能

iPHEMOS-DD 产品特点

iPHEMOS-DD 将微光图像叠加在高分辨率图案图像上,以快速定位缺陷点。对比度增强功能使图像更清晰、更细腻。

显示功能

  • 注释:评论、箭头和其他指示符可以显示在图像上所需的任何位置。
  • 刻度显示:刻度宽度可以使用分段显示在图像上。
  • 网格显示:垂直和水平网格线可以显示在图像上。
  • 缩略图显示:图像可以存储和调用为缩略图,并且可以显示图像信息,例如载物台坐标。
  • 分屏显示:图案图像、微光图像、叠加图像和参考图像可以一次显示在 4 窗口屏幕中。

详细参数

线路电压交流 200 V (50 Hz/60 Hz)
功耗约 1400 VA(最大 3300 VA)
真空度约 80 kPa 或以上
压缩空气0.5 MPa ~ 0.7 MPa
尺寸/重量主机:1980 mm (W)×1270 mm (D)×834 mm (H),约 1700 kg
控制架:880 mm (W)×700 mm (D)×1842 mm (H),约 300 kg
可选桌台:1400 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H),约 60 kg

*iPHEMOS-DD 主机的重量包括探针或同等物品。

相关信息

请联系我们获取更多信息。

  • 资料索取
  • 价格咨询
  • 产品货期
  • 产品定制
  • 演示
  • 技术支持
  • 其他

联系我们