波长检测方法 | 微型 LED PL 检查系统

新型波长检测方法“λ-Capture”技术

λ-capture(λ 射线捕捉)是一种新的波长检测技术,无需光谱仪即可进行波长测量。

对整个晶圆进行波长测量时,使用常规光谱仪进行点测量或使用成像光谱仪进行线测量都需要花费大量的时间。

λ-capture 可以通过使用高灵敏度相机来测量区域中的波长,从而能够高速测量整个晶圆的光谱。

通过使用这项同时针对微型 LED 评估 PL 强度映射和 PL 波长映射的技术,可以在短时间内对显示器进行波长管理。

测量原理

λ-Capture 技术使用两个高灵敏度相机和一个 LRG 二向色镜。重心波长等于二向色镜的中心波长时,透射和反射信号的光强相同。如果波长向较长波长侧偏移,则投射信号会变大,如果向较短波长侧偏移,则反射信号会变大。 

通过用两个高灵敏度相机同时测量穿过二向色镜的光强,可以确定偏移中心波长的差值。因此,可以通过单次测量来测量光强和波长。

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