LCOS-SLM(空间光调制器)X15213 系列

LCOS-SLM 是反射空间光相位调制器,可自由调制光相位。激光或其他照射光经过液晶的相位调制并被反射。可以自由控制波前形状。光的波前控制可应用于光束光刻、像差校正等。

X15213 系列有 12 种类型,涵盖不同波长的光源。所有类型都具有带抗反射涂层的玻璃基板和带振镜的 CMOS 芯片。

可分为铝镜型和介质镜型。

●铝镜型 (-01/-07/-08)

铝镜型利用了 CMOS 芯片上铝电极的反射,具有较宽的反射波段,因此适用于较广的波长范围。

●介电多层镜型 (-02/-03/-05/-12/-13/-15/-16/-19)

介电多层镜型的 CMOS 芯片表面上具有专门设计的介电多层膜,可支持各种波长的激光光源。与铝镜型相比,介质镜实现的反射率越高,内部吸收率就越低。这使其能够辐照高功率激光。

●水冷型 (02L/-02R/-03L/-03R/-03BL/-03BR/-12L/-12R/-15L/-15R/-16L/-16R/-19L/-19R)

介电多层镜型的灯头具有内置水冷散热器,可抑制激光辐照引起的升温,并提高耐光性。

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