膜厚测量系统

Gauge 系列可提供非接触式高精度膜厚测量:HyperGauge 适用于面内晶圆薄膜、Optical NanoGauge 适用于纳米级层、Optical MicroGauge 适用于微米级层。

筛选器

测量薄膜厚度范围(玻璃):当以玻璃折射率 1.5 进行转换时
测量薄膜厚度范围(硅):当以硅折射率 3.67 进行转换时
最短的节拍时间
特点

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半导体应用实验室

半导体应用实验室(位于静冈县滨松市常光工厂)是一个旨在与客户共同创造的实验室。我们的设备可解决半导体故障分析和晶圆测试等各种问题。 

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