常见问题 | 膜厚测量系统

光线能够穿透的任何材料基本上都可以测量。光线无法穿透的样品很难测量，例如 100 nm 或更厚的金属薄膜。（此前已成功测量厚度小于 50 nm 的样品）容易散射光线的样品也难以测量。请联系滨松光子学株式会社的代表，了解更多关于雾度值和其他规格的信息。

它可用于在线/离线用途，主要检查半导体、FPD 和薄膜制造过程（薄膜厚度控制）。

我们可以对您准备的样品进行测量演示。我们准备了 Optical Gauge 系列演示套件。请联系滨松光子学株式会社的代表，了解更多信息。

我们对厚度已经过第三方机构确认的样品进行测量，并根据该参考值判定测量结果以确认厚度。遗憾的是，对于我们自己无法控制和确认的样品的薄膜厚度，我们无法保证其测量值。

绝对精度取决于材料的光学常数（折射率和吸收系数）。如果该光学常数正确，则绝对厚度精度会比较高。VLSI 标准（第三方机构）的测量保证中显示的保证范围即为我们的测量精度。在 400 nm 石英玻璃样品上，再现性为 0.02 nm 标准偏差。

它可以应对几毫米的波动。请参见本页上的离焦依赖性，了解更多信息。

我们很少收到关于硬件维修方面的问题，但我们会收到很多关于分析方面（包括软件）的问题，特别是关于配方设置的问题。Optical Gauge 系列具有配方设置功能，即使客户也能轻松操作。

对于正常测量，样品和传感器之间的距离为 10 mm 或更小，但也可提供工作距离为 35 mm 的光学元件。