测量方法比较 | 膜厚测量系统

测量方法比较

  • 短短 5 秒即可获取面内薄膜厚度分布情况*1
  • 可根据测量结果选择测量点数
  • 无需对准或其他机理即可进行测量
  • 支持在线操作*2

*1 获取 300 mm 硅晶圆的面内薄膜厚度分布情况的大约时间。

*2 请联系我们以了解更多详情。

  • 支持宽波长范围
  • 即使对于多层结构,也能实现高精度测量
  • 设计紧凑,可轻松集成到在线系统中

请联系我们获取更多信息。

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