用途 | OPAL-Luxe® 高动态范围光谱仪

高灵敏度、高波长分辨率和最小杂散光,使超高动态范围最大化

OPAL-Luxe 不仅具有超高动态范围,而且在灵敏度和精度方面也表现出色。光谱仪使用 F 值为 2.2 的明亮的光学系统来实现辉度和波长分辨率。它还最大限度地考虑了杂散光特性,从而能够检测以前无法测量的信号。

1. 薄膜厚测定

左图显示了使用 OPAL-Luxe 测量 10 nm 或更薄厚度的超薄薄膜的反射率的结果。OPAL-Luxe 可以测量几纳米厚度差异所致反射率差异,并且薄膜厚度值可以根据该波形计算。右图比较了使用 OPAL-Luxe 和传统模型 (PMA-12) 测得的膜厚值与能够进行高精度膜厚测定的椭圆计的膜厚值。OPAL-Luxe 的测量结果与椭圆计 1 的差异很小,并无变化。

2. 氮化镓的光致发光测量

这是由氦镉激光器(波长:325 nm)激发的化合物半导体氮化镓的光致发光测量的实例。OPAL-Luxe 能够成功测量传统模型 (PMA-12) 无法检测的高 S/N 带边缘发光和荧光光谱。

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