多波段等离子加工监控器

C10346-01

多波段等离子加工监控器 C10346-01 是一个专门设计用于监测半导体的各种制造过程中产生的光学等离子体发射的系统,包括蚀刻、溅射、清洁和 CVD。该 MPM 可以实时处理多通道记录。

详细参数

型号C10346-01
波长范围200 nm 至 950 nm
波长精度±0.75 nm
波长分辨率(半宽度)<2 nm
电源AC100 V 至 AC240 V (50 Hz/60 Hz)
功耗约 70 VA
数字输出端子(确定信号输出)TTL 最多 5 个通道(使用测量触发信号时最多 3 个通道)
数字输入终端(开始测量触发信号) 使用 TTL 5 通道的 TTL 1 通道
数字输出端(占线信号)使用 TTL 4 通道的 TTL 1 通道
模拟输出端2 通道 0 V 至 10 V
光纤探针连接器SMA
通信接口USB 2.0 Type B
环境工作温度+10 ̊C 至 +30 ̊C

尺寸

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