MiNY PL Micro LED PL 检查系统

C15740-01

MiNY PL 是一种使用光致发光 (PL) 测量方法的微型 LED 晶圆检查系统。

详细参数

型号名称 C15740-01
支持的晶圆尺寸 100 mm(4 英寸)或 150 mm(6 英寸) (其他尺寸可协商提供)
测量时间

约 12 分钟

(10 倍物镜,PL 测量,4 英寸晶圆)

PL 测量波长 R、G、B
空间分辨率 1 μm/像素(标准模式),0.5 μm/像素(高分辨率模式)
测量项目 形状异常、PL 强度、PL 波长
外部尺寸/重量 2000 mm (W) × 1878 mm (H) × 1130 mm (D) / 约 1800 kg
洁净室 兼容

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