在工作场所和家中实现实时光谱测量 超紧凑光谱传感器

MEMS-FPI 光谱传感器 C14273

超紧凑近红外光谱传感器 MEMS-FPI* 光谱传感器阵容新增了一款产品。
全新 C14273 传感器在长波波段中的灵敏度高于目前的 2 种类型。光谱响应范围为 1.75 至 2.15 μm。

该 MEMS-FPI 光谱传感器是一款超紧凑型传感器,集成了可根据施加的电压改变传输波长的 MEMS-FPI 可调滤波器以及 InGaAs PIN 光电二极管。由此实现了在近红外区域进行分光光度测定。在化学品、食品、纤维等的生产和检查中,需要使用光谱测量来区分已知(真实)组分和未知组分,并需要监测水分含量以进行工艺控制。满足这些需求需要一种在红外区域具有灵敏度的稳健、紧凑、低成本的光谱测量仪器。MEMS-FPI 光谱传感器可满足这些要求。

 

产品特点:

  • 近红外光谱传感器
  • 紧凑:TO-5
  • 轻质:1 g
  • 稳健:在高湿度环境下具有高可靠性(密封封装)
  • 低成本:
    配置简单,将 MEMS-FPI 可调滤波器和 InGaAs PIN 光电二极管集成在一个封装中(不使用昂贵的多通道元件)

 

参数  
C14272
 
C13272-02
[NEW]
C14273
单位
灵敏度波长范围 1.35 ~ 1.65 1.55 ~ 1.85 1.75 ~ 2.15 μm
光谱分辨率 18 20 22 nm(最大)
质量
1
g
储存温度
-40~+125
工作温度
-40~+85
另提供评价电路 C13294-02。

MEMS-FPI 光谱传感器由 MEMS-FPI 可调谐滤波器、光电传感器(光电二极管)等组成。它具有简单的结构,其中 MEMS-FPI 可调谐滤波器和光电传感器排列在与入射光方向相同的轴线上。虽然该产品是光谱传感器,但它使用单元件光电传感器,不需要昂贵的多通道光电传感器。
 
 

MEMS-FPI 可调谐滤波器具有彼此相对放置的上振镜和下振镜,其间具有气隙。当在振镜之间施加电压时,产生静电吸引力以调节气隙。为了促进这种作用,上振镜具有膜(薄膜)结构。如果其气隙为 mλ /2(m:整数),则用作滤波器,允许波长为 λ 附近的光透射。当滤波器控制电压增加时,静电吸引力使气隙变窄,透射峰值波长偏移到短波长侧。

C14273(代表性例子)

             

任何峰值透射波长的滤波器控制电压在各产品中有所不同。

 
 

(1) 数据表

(2) 技术说明