滨松光子学株式会社开发了一种用于高光谱相机的 InGaAs 面阵图像传感器,能够检测长达 2.55 μm 的短波长红外光,这是此类面阵图像传感器可检测到的全球最长波长。
我们从 2019 年 7 月 1 日起开始接受产品订单。

通过应用多年来自主开发的复合光电半导体制造技术,我们设计并开发了一种用砷化铟镓 (InGaAs) 制成的新面阵图像传感器 G14674-0808W,能够检测长达 2.55 µm 的短波长红外光,这是此类面阵图像传感器可检测的世界上最长的波长。将这种新的 InGaAs 图像传感器安装到用于塑料回收的高光谱相机中,将提高塑料回收率,因为高光谱相机可以对含有阻燃树脂的塑料进行筛选和分类,以将其与其他塑料分离,到目前为止,这一直非常困难。我们于 2019 年 7 月 1 日开始接受国内外工业相机制造商的产品订单。
6 月 12 日至 6 月 14 日,这款全新的 InGaAs 图像传感器将在横滨太平洋会展中心举办的 2019 年图像传感展上展出 3 天,届时,国内外图像处理设备和传感技术制造商和专家将齐聚一堂,展示和了解新技术。

产品主要特点

1 InGaAs 面阵图像传感器能够检测长达 2.55 μm 的短波长红外光,这是此类图像传感器可检测到的全球最长的波长

我们利用在Miyakoda 工厂 3 号楼新安装的设备,优化了 InGaAs 受光面所含的 InAs 和 GaAs 的组成比,并仔细审查和重新构思了受光面的制造工艺。结果,我们成功消除受光面的缺陷,并开发出能够检测长达 2.55 μm 的短波长红外光的 InGaAs 面阵图像传感器,这是此类图像传感器可检测到的全球最长的波长。
 

2. 减少受光面的暗电流

我们自主设计并生产了针对新型 InGaAs 面阵图像传感器优化的电路,并成功采用一种电路设计,使作用于受光面中电极之间的电压差异几乎为零。这样可以最大限度地减少受光面中产生的暗电流。
 

3. 提高信号读出速度

为了缩短传输电信号的路径,我们还将自主设计、生产和优化的电路小型化,以用于这种新的 InGaAs 面阵图像传感器。这种更短的信号路径将信号读出速度提高到当前产品的两倍以上。
 

阵容

滨松将同时发布四款具有不同光谱响应范围的新产品,包括在长达 2.55 μm 的波长处具有灵敏度的 G14674-0808W。

型号 灵敏度波长范围 像素总数 像素间距 制冷 暗电流 帧速率
G14671-0808W 0.95 ~ 1.69 μm
(15°C)
320 × 256 像素 20 μm 两级电子冷却型 0.03 pA 最大 507 fps
G14672-0808W 1.12 ~ 1.85 μm
(-20°C)
0.3 pA
G14673-0808W 1.30 ~ 2.15 μm
(-20°C)
3 pA
G14674-0808W 1.70 ~ 2.55 μm
(-20°C)
30 pA

光谱灵敏度特性

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