用途 | 太赫兹 (THz) 传感器

THz 检测装置与高强度 THz 波脉冲光源结合使用,可实现高灵敏度 THz 分析。

在此,我们介绍一些有望获得应用的测量示例。

利用探测器优势的应用示例

探测器优势

  • 高速响应
  • 测量细微变化
  • 有效面积较大

气体测量

THz 波长范围具有各种气体的指纹谱,有望应用于各种气体分析。利用 THz-PMT 的非线性响应特性,能够以高于一般探测器的灵敏度检测气体。

在此示例中,分别使用 THz PMT 和热式探测器对一氧化二氮进行分析。可以看出,与热式探测器相比,THz PMT 能够以更高的灵敏度检测气体吸收。

一氧化二氮气体的 THz 波吸收特性

在此示例中,分别使用 THz PMT 和热式探测器对一氧化二氮进行分析。可以看出,与热式探测器相比,THz PMT 能够以更高的灵敏度检测气体吸收。

测量系统

测量水蒸气

THz 波对于水蒸气呈现强吸收特性。因此,结合利用 THz 波和 THz-PMT 的非线性响应特性,能够以高灵敏度检测痕量水蒸气。

该系统有望引入需要防范水蒸气污染的各类生产流程的管理领域。

水蒸气的 THz 波吸收特性

测量系统

半导体检查

THz 波对半导体表现出独特的反射特性。利用这一原理,也许可以无接触测量半导体表面的电学特性。

在此用例中,分别使用 THz PMT 和热式探测器测量硅晶圆基于其电阻率表现的反射响应特性。

THz PMT 能够以高灵敏度检测晶圆表面电阻率的细微变化,而热式探测器则很难区分这些变化。

硅的电阻率 ρ与反射光谱(颜色)的关系

测量系统

不同电阻率硅晶圆的 THz 波反射光谱评估

本页显示的测量结果是日本理化学研究所 (RIKEN) 和丹麦技术大学联合研究的成果。

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