硅光电二极管

S8552

真空紫外 (VUV) 监控光电二极管

 

S8552 在真空紫外区域具有灵敏度。它特别适合用于准分子激光器(ArF:193 nm,KrF:248 nm)监测。
与前代产品相比,其针对 VUV 领域用途进行的优化设计提高了 VUV 光辐射照度的灵敏度稳定性。

 

特点
- 提高了准分子激光器的可靠性(ArF:193 nm,KrF:248 nm)
- 大受光面:10 × 10 mm
- 无窗封装:16.5 × 15.0 mm 陶瓷封装

注意

本产品的芯片未密封且会外露。芯片上的电极等部件不受外壳或窗口的保护,因此与普通产品相比,在操作过程中需要特别小心。
使用本产品之前,请务必阅读下文所述的“Precautions / Unsealed products”。

详细参数

受光面 10 × 10 mm
封装 陶瓷
封装类别 未密封
制冷 非冷却型
反向电压(最大值) 5 V
光谱响应范围 190 至 1000 nm
感光灵敏度(典型值) 0.06 A/W
暗电流(最大值) 1000 pA
上升时间(典型值) 9 μs
结电容(典型值) 4000 pF
测量条件 典型值 Ta = 25°C,感光灵敏度:λ = 193 nm,除非另有说明

VUV 暴露引起的灵敏度变化

外形尺寸图(单位:mm)

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