扁平型准分子灯

该准分子灯光源在大片区域实现均匀照射,通过采用扁平长灯和 RF(射频)放电实现稳定的输出,几乎没有闪烁。

与传统的电晕放电和等离子系统相比,它无损害且不会产生灰尘。

该准分子灯光源在大片区域实现均匀照射,通过采用扁平长灯和 RF(射频)放电实现稳定的输出,几乎没有闪烁。

与传统的电晕放电和等离子系统相比,它无损害且不会产生灰尘。

3 产品信息

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扁平型准分子灯: EX-400

  • 在线
  • 大长度和大面积

使用扁平长灯和 RF(射频)放电,可在大面积和较少闪烁的情况下提供稳定的输出和均匀的照射。与电晕放电法、等离子体法甚至其他准分子灯相比,EX-400 可确保高度准确、高质量的调整度、清洁度和接合度。

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扁平型准分子灯: EX-86U

  • 在线
  • 小型化

由于采用带有内部电源的“一体化”设计,实现紧凑、轻巧的机身,无需选择安装空间,即可轻松在生产现场进行安装。EX-86U 适合多种在线用途,可以轻松集成到现有生产线中以及搬迁生产线等。

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扁平型准分子灯: EX-mini

  • 研发
  • 小型化

具有卓越的便携性,几乎可以在任何地方进行简单且高精度的试验和评估。EX-mini 虽是为研发工作设计的,但它的性能与为在线操作设计的 EX-400 和 EX-86U 准分子灯光源相同,因此可以立即将 EX-mini 的评估结果用于在线操作任务。

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