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VCSEL (vertical cavity surface emitting laser) - VCSEL(垂直腔面发射激光器)

半导体激光器通常在平行于基板表面的方向上使光共振,并在该方向上发射光。然而,在 VCSEL 中,光在垂直于基板表面的方向上共振,并且垂直于基板发射。因此,可以形成谐振腔,并且在制造过程中无需切割基板即可测试激光特性。这使得 VCSEL 适合批量生产。与边缘发射激光器相比,VCSEL 的制造成本更低,并且可在两个维度上轻松排列。其他特点包括低阈值电流、低电流时高速调制和较小的温度依赖性。