特点 | 等离子加工监控器

同时测量宽(等离子体)光谱

从(等离子体)自由基或离子捕获宽光谱(发光)。(200 nm 至 950 nm)

实时等离子体(发光)测量

以 20 msec 的间隔连续测量多达 15000 个光谱(50 msec,同时运行检测软件)

高度准确和可靠的测量

高分辨率光谱仪和超高灵敏度光探测器被牢固锁定在适当位置,以确保通过清晰聚焦的等离子体发射光谱图像采集准确的光谱和精确的光谱响应性数据。

UV 光谱区高灵敏度检测

以高灵敏度检测 200 nm 范围内的 UV 光谱区域。

使用光纤轻松测量

通过广泛使用的 SMA 连接器,可将配备的光纤轻松连接到等离子体室。

使用多个腔室操作

单个分析单元可通过 USB 2.0 接口控制多达四个 C10346-01 多波段等离子加工监控器。

图像采集软件

数据采集软件在等离子体处理过程中将光谱数据存储到数据库中。然后,该存储的数据可用于光谱数据计算。

可选软件

通过创建“检测模型”实现高灵敏度端点检测和过程异常的实时监控。

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